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随着科技的进步，20世纪60年代初半导体探测器发明后，用能谱分析X射线荧光成为可能。能量色散X射线荧光光谱仪(ED-XRF)利用X射线管产生初级X射线照射样品，产生的特征X射线(荧光)直接进入半导体探测器，可以进行定性分析和定量分析。接下来，我们一起了解X荧光光谱仪两种分类介绍。
X射线荧光光谱仪是一种可以同时测定多种元素的新型仪器。在X射线的激发下，被测元件原子内层的电子发生能级跃迁并发射出次级X射线(即X荧光-RRB-。能量色散(ED-XRF)和波长色散(WD-XRF)是从不同角度描述X射线的两个物理量。
能量色散荧光光谱仪
能量色散法是将X射线激发被测所有这些元素的荧光技术简单过滤后，全部进入到检测器中，利用各种仪器和软件来分出其中的光谱。如测的为元素周期表中相邻的两个元素，会因光谱重叠而产生影响测量误差。能量色散型仪器最大的优点是不破坏被测的材料或产品，也不需要专业管理人员操作，缺点是对铬和溴是总量分析测定（一般认为不影响使用，因为我们很多发展情况可以根据判定，如测铬总量超标，常可知是不是六价铬超标，特别是溴，如被作为一种阻燃剂加入，不管是对于那种溴，总量超标问题就不合格）。
波长色散荧光光谱仪
波长法是因为它激发的荧光足够强，仪器中用于分析的光谱是单一元素(“过滤”了不需要的元素)，不含其他元素的光谱，所以测量数据非常准确。这种仪器的灵敏度比能量色散型高一个数量级，也就是说，测量的数据没有“灰色地带”，测量后需要检测机构重新检测。缺点是波长法需要将被测物质粉碎成样品，才能准确测量。所以最适合材料厂。如果不制作样品(无损)，由于材料表面形状不同，会产生不同的误差。仪器操作也不需要专业人员。
