产 品 名：钨灯丝扫描电镜 VEGA3 GM

• GM样品室配备有5轴马达驱动样品台
• 多于20个接口，优化的几何设计更适合安装能谱仪（EDS）、波谱仪（WDX）、电子背散射衍射（EBSD）
• 一流YAG闪烁器式探头
• 可选各种探头和配件
• 涡轮分子泵和机械泵同时工作，几分钟即可达到仪器操作需要的真空状态
• 在可变真空模式下可观测不导电的样品（XMU型号）
• 可选样品室减振方式
• 3维Metrology软件提供了三维重构与3维测量功能

标配：

根据实际配置和需求

配件：

二次电子探头（SE），ET型二次电子探头（YAG 闪烁体）

可移动式背散射电子探头（RBSE）*，可移动环行闪烁体类（YAG）具有高灵敏度和原子序数分辨率（0.1Z）
低真空二次电子探头
探针电流测量
压差式防碰撞报警装置
可观察样品室内部的红外线摄像头
冷台
等，各种配件可供选择